濾光片怎么鍍膜的?
濾光片在越來越多的光學(xué)領(lǐng)域中起到了相當(dāng)重要的作用,但是我們經(jīng)常使用的濾光片是怎么鍍膜,怎么制作出濾光片成品的呢?納宏光電(NMOT)帶您一覽濾光片鍍膜的神秘面紗。
濾光片基片用干凈的布片和有機(jī)溶劑進(jìn)行清潔處理。將鍍膜機(jī)真空室內(nèi)放氣后,用吸塵器清理鐘罩內(nèi)部,在鉬舟內(nèi)填裝待蒸發(fā)膜料,記錄下各個(gè)舟的膜料名稱。并在基片架上安放基片,勿使基片傾斜。落下鐘罩,按鍍膜機(jī)操作規(guī)程對(duì)真空室進(jìn)行抽真空。當(dāng)真空度達(dá)到3710Pa-′以后,依次對(duì)舟預(yù)熔,去除膜料中的氣體。此時(shí),應(yīng)注意用擋板擋住膜料,以保證預(yù)熔中基片不被鍍上。當(dāng)真空度達(dá)到要求后,采用/4l極值發(fā)控制光學(xué)厚度的方法進(jìn)行鍍制,可以選擇前面給出的兩種膜系中的任意一個(gè)膜系鍍膜,將控制波長(zhǎng)放在632.8nm或其他波長(zhǎng)。首先在玻璃基片上鍍制H層。隨著膜層增厚,放大器指示的光電流將下降。當(dāng)光電流數(shù)值剛剛開始回升時(shí),立即將擋板擋上。然后,降電流換電極,鍍L層。鍍L層時(shí),光電流隨著膜厚增加而上升,達(dá)到極值時(shí)停止鍍膜,重復(fù)以上步驟鍍H層。當(dāng)鍍制光學(xué)厚度為/2l的間隔層時(shí),厚度增加一倍 ,應(yīng)在光電流上升再下降到極值時(shí)停止。以后幾層同前幾層一樣控制,但變化規(guī)律相反。 鍍膜結(jié)束后,依鍍膜機(jī)操作規(guī)程停止加熱和抽真空。半小時(shí)后,方可對(duì)鍍膜機(jī)真空室充氣,取出所鍍制的干涉濾光片。然后按操作規(guī)程再對(duì)鍍膜機(jī)抽真空,以保持清潔,最后停機(jī)。
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