光學(xué)鍍膜機(jī)內(nèi)真空度的對濾光片性能的影響?
2020/07/22
NMOT
真空鍍膜機(jī)是生產(chǎn)光學(xué)濾光片至關(guān)重要的一個(gè)生產(chǎn)設(shè)備,但是真空鍍膜機(jī)的一些參數(shù)變化會對濾光片有什么影響呢?深圳納宏光電帶您進(jìn)一步了解。
真空鍍膜機(jī)內(nèi)真空度對濾光片性能的影響是由于剩余氣體與膜料原子、分子的氣相碰撞所致的能量損失及化學(xué)反應(yīng)。如果真空鍍膜機(jī)內(nèi)真空度低,致使膜料蒸氣分子與剩余氣體分子碰撞幾率增加,蒸氣分子動能大大減小,使得蒸氣分子無法到達(dá)基片,或無力沖破基片上的氣體吸附層,或勉強(qiáng)能沖破氣體吸附層但與基片的吸附能卻很小,從而導(dǎo)致光學(xué)濾光片器件沉積的膜層疏松,聚積密度低,機(jī)械強(qiáng)度差,化學(xué)成分不純,使得濾光片的膜層折射率、硬度變差。
一般來說隨著鍍膜機(jī)內(nèi)真空度的提高,光學(xué)濾光片膜層的結(jié)構(gòu)進(jìn)一步改善,膜層的化學(xué)成分變純,但應(yīng)力增大。金屬膜和半導(dǎo)體膜的純度越高越好,它們對鍍膜機(jī)內(nèi)真空度的依賴性很大,從而需要更高的鍍膜機(jī)內(nèi)真空度受真空度影響的濾光片性能主要有:折射率散射機(jī)械強(qiáng)度和不溶性。
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濾光片